材料性能
項目
規(guī)格
檢測方法
生長方式
直拉法
--
結(jié)晶性
單晶
--
導(dǎo)電類型
P型
PN測試儀
尺寸
M10：182.2 × 182.2 × φ247 mm
G12：210 × 210 × φ295 mm
硅片分選機(jī)
厚度
M10：90-160 μm
G12：90-160 μm
硅片分選機(jī)
| 項目 | 規(guī)格 | 檢測方法 |
|---|---|---|
| 生長方式 | 直拉法 | -- |
| 結(jié)晶性 | 單晶 | -- |
| 導(dǎo)電類型 | P型 | PN測試儀 |
| 尺寸 | M10：182.2 × 182.2 × φ247 mm G12：210 × 210 × φ295 mm |
硅片分選機(jī) |
| 厚度 | M10：90-160 μm G12：90-160 μm |
硅片分選機(jī) |
電性能
項目
規(guī)格
檢測方法
電阻率
0.4-1.1 <Ω·cm>
硅片分選機(jī)
少子壽命
≥70<µs>
少子壽命測試儀BCT-400
氧含量
≤16<ppma>
傅里葉變換紅外光譜儀
FTIR (ASTM F121-83)
碳含量
≤1<ppma>
傅里葉變換紅外光譜儀
FTIR (ASTM F123-91)
| 項目 | 規(guī)格 | 檢測方法 |
|---|---|---|
| 電阻率 | 0.4-1.1 <Ω·cm> | 硅片分選機(jī) |
| 少子壽命 | ≥70<μs> | 少子壽命測試儀BCT-400 |
| 氧含量 | ≤16 |
傅里葉變換紅外光譜儀 FTIR (ASTM F121-83) |
| 碳含量 | ≤1 |
傅里葉變換紅外光譜儀 FTIR (ASTM F123-91) |
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