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N型 單晶硅片

下載資料

0.4-1.6 <Ω·cm>

電阻率

≤12 <ppma>

氧含量

≤1 <ppma>

碳含量

≥800 <µs>

少子壽命

材料性能

項(xiàng)目 規(guī)格 檢測方法
生長方式 直拉法 --
結(jié)晶性 單晶 --
導(dǎo)電類型 N型 PN 測試儀
尺寸 M10：182.2*182.2*φ247mm
G12：210*210*φ295mm
G12-R：182*210*φ272mm		 硅片分選機(jī)
厚度 M10：90-160μm
G12：90-160μm
G12-R：90-160μm		 硅片分選機(jī)

電性能

項(xiàng)目 規(guī)格 檢測方法
電阻率 0.4-1.6<Ω·cm> 硅片分選機(jī)
少子壽命 ≥800<μs> 少子壽命測試儀BCT-400
氧含量 ≤12 傅里葉變換紅外光譜儀
FTIR (ASTM F121-83)
碳含量 ≤1 傅里葉變換紅外光譜儀
FTIR (ASTM F123-91)

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